检测项目

真空密封性：

• 静态升压率：≤5×10⁻⁴Pa·m³/s·m²（GB/T 3163-2018）
• 氦气泄漏率：≤1×10⁻⁹Pa·m³/s（ISO 20486:2017）

• 总质量损失（TML）：≤1.0%（ASTM E595-22）
• 收集挥发凝露物（CVCM）：≤0.10%（ECSS-Q-ST-70-02C）

• 水汽分压：≤2×10⁻⁶Pa（GB/T 34872-2017）
• 碳氢化合物浓度：≤5×10⁻⁷Pa（ISO 15338:2019）

• 温度循环范围：-196℃~+125℃（MIL-STD-883J）
• 真空维持时间：≥72h（≤10⁻³Pa）

• 氢气渗透率：≤1×10⁻¹⁴mol/m·s·Pa（GB/T 40342-2021）
• 氧气渗透率：≤5×10⁻¹⁵mol/m·s·Pa（ASTM D3985-17）

• 表面出气率：≤1×10⁻¹²Pa·m³/s·cm²（ISO 16602:2012）
• 接触角滞后：≤15°（真空环境）

• 氪气吸附量：≤0.01ml(STP)/g（ASTM D4567-19）
• 解吸活化能：≥80kJ/mol

• 质量变化率：≤0.5mg/cm²（ISO 9022-20:2022）
• 抗冷焊性能：摩擦系数≤0.3

• 介质耐压：≥20kV/mm（真空10⁻⁴Pa）
• 体积电阻率：≥1×10¹⁶Ω·cm

• 极限真空度：≤5×10⁻⁶Pa（ISO 21360:2019）
• 抽气效率：≥90%（10min内）

检测范围

1. 真空镀膜设备： 检测腔体焊缝密封性及内部构件放气率，重点监控铝镁合金腔体的氦泄漏率

2. 低温绝热容器： 多层绝热材料（MLI）真空维持性能，侧重玻璃纤维布放气特性与夹层真空度衰减

3. 航天器部件： 太阳能电池板粘接剂TML/CVCM指标，热控涂层在轨气体释放行为监测

4. 半导体工艺腔： 硅片传输系统真空密封性，反应腔体内部聚合物材料碳氢化合物析出量

5. 真空电子器件： 阴极材料放气特性，陶瓷金属封接界面氦渗透率（≤10⁻¹²Pa·m³/s）

6. 高真空阀门： 金属波纹管渗透率，氟橡胶密封件在10⁻⁶Pa下的质量损失率

7. 粒子加速器组件： 超导磁体绝缘材料真空电性能，束流管道内壁碳吸附特性

8. 真空钎焊件： 焊缝区域残余气体成分，银铜钎料在10⁻³Pa下的挥发物含量

9. 空间润滑材料： 全氟聚醚润滑剂蒸发损失（≤0.5%），二硫化钼涂层的真空摩擦系数

10. 真空绝热板： 芯材纤维放气速率（≤1×10⁻¹¹Pa·m³/s·g），阻隔膜氧气渗透率（≤0.05cm³/m²·d）

检测方法

国际标准：

• ASTM E595-22 真空环境下材料总质量损失及挥发物收集标准试验方法
• ISO 15338:2019 表面化学分析-辉光放电质谱法测定残留气体
• ECSS-Q-ST-70-02C 航天材料放气特性筛选标准（与ASTM E595差异：增加100℃预烘烤环节）
• ISO 21360:2019 真空技术-真空泵性能测量标准方法
• ASTM D3985-17 塑料薄膜氧气透过率测试（与国标差异：采用等压法替代压差法）

• GB/T 34872-2017 真空技术 残余气体分析 四极质谱法
• GB/T 3163-2018 真空技术 容积式真空泵性能测试方法（与ISO差异：增加水蒸气耐受指标）
• GB/T 40342-2021 真空绝热板有效导热系数测定方法（国际等效ISO 16478）
• GB/T 31480-2015 深冷容器用材料放气性能试验方法（与ASTM差异：测试温度扩展至-253℃）
• GB/T 24586-2009 铁镍合金、铁镍钴合金4J29膨胀系数检测（真空环境）

检测设备

1. 四极质谱仪： HPR-60 RGA（质量数范围1-300amu，检测限1×10⁻¹³Pa）

2. 氦质谱检漏仪： ASM 340（灵敏度1×10⁻¹²Pa·m³/s，响应时间≤1s）

3. 真空放气测试系统： VQ-1000D（真空度5×10⁻⁷Pa，温控范围-196~350℃）

4. 气体渗透分析仪： VAC-V3（测试精度±0.01g/m²·24h，支持H₂/O₂/CO₂）

5. 超高真空系统： UHV-2000（极限真空5×10⁻⁹Pa，分子泵组抽速6000L/s）

6. 热真空试验箱： TVAC-1000（空间尺寸Φ1000×1500mm，温度-180~+150℃）

7. 激光干涉检漏仪： LIM-300（位移分辨率0.1nm，泄漏定位精度±0.5mm）

8. 石英晶体微天平： QCM-D（质量分辨率0.1ng/cm²，温控±0.01℃）

9. 气体吸附分析仪： Autosorb-iQ（比表面测试范围0.01-无上限，真空度10⁻¹⁰Torr）

10. 真空电弧放电仪： VAD-200（电流范围10-200A，真空击穿电压测试精度±0.5kV）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。